[实用新型]一种晶圆机械手校正治具

说明书

本实用新型属于治具技术领域，尤其为一种晶圆机械手校正治具，包括驱动装置、放置台，驱动装置上设置有机械手，机械手一端设置有抓取端，抓取端上有晶圆，放置台内设置限制件，放置台内设置有液压伸缩杆，放置台上顶部设置有安置区，放置台顶部位于安置区外侧设置有校正缺口，放置台内设置有弧形安装腔，放置台内位于弧形安装腔下方设置有安装槽，液压伸缩杆稳定安装在安装槽内，液压伸缩杆底部固定连接在安装槽底部。本实用新型设置限制件、液压伸缩杆、安置区、校正缺口，校正过程中不需要另外的附件，只需调整限制件限制机械手后对驱动装置与机械手之间的转动连接位置进行调整即可达到校正的效果，操作流程简单，操作便捷。

技术领域

本实用新型涉及治具技术领域，具体为一种晶圆机械手校正治具。

背景技术

半导体加工过程涉及多种工艺，每种工艺需要用到不同的设备，很多工艺都需要预先获得晶圆准确的位置状态。现有技术中，作为半导体设备的关键部位之一的晶圆传送装置是晶圆制造厂中常用的设备，用于抓取晶圆并将其传送至下一目的地，该抓取动作由晶圆传送装置的机械手臂来完成，当晶圆传送装置工作一段时间后，需要对机械手进行初始位置校正，以保证其位置精度。

申请号：202023325074.2，提出的晶圆机械手校正治具，用于校正晶圆机械手的相对于晶圆放置台的位置，晶圆径向限位的放置于所述晶圆放置台上设置的晶圆限位区内，所述晶圆机械手校正治具包括一圆盘，与所述晶圆尺寸相同，设置在所述的晶圆限位区，所述圆盘中心连接有凸台，所述凸台上开设有第一定位槽，所述第一定位槽为一开放的U形下沉平台，所述第一定位槽包括第一定位圆弧以及平滑衔接于所述第一定位圆弧两侧的第一导向面，所述第一定位圆弧与所述圆盘同轴，所述的两个第一导向面夹角大于0度且小于90度。本申请校正过程快速准确，将以往每次1到2个小时的校正时间缩短到几分钟，减少了因机械手导致的停机停产时间，提高了半导体生产线的生产效率。

现有技术存在以下问题：

现有技术的晶圆机械手校正治具在进行校正过程中需要借助对应附件与放置台、机械手进行相互配合才能正确进行校正，操作流程繁琐，且附件丢失，则会直接导致不能进行校正。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆机械手校正治具，解决了现今存在的校正过程中需要借助对应附件与放置台、机械手进行相互配合才能正确进行校正，操作流程繁琐，且附件丢失，则会直接导致不能进行校正的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆机械手校正治具，包括驱动装置、放置台，所述驱动装置上设置有机械手，所述机械手一端设置有抓取端，所述抓取端上有晶圆，所述放置台内设置限制件，所述放置台内设置有液压伸缩杆，所述放置台上顶部设置有安置区，所述放置台顶部位于安置区外侧设置有校正缺口，所述放置台内设置有弧形安装腔，所述放置台内位于弧形安装腔下方设置有安装槽。

作为本实用新型的一种优选技术方案：所述弧形安装腔共有两组且相互对应，每组所述弧形安装腔底部开设有三组安装槽，所述安装槽与弧形安装腔之间相连通。

作为本实用新型的一种优选技术方案：所述液压伸缩杆稳定安装在安装槽内，所述液压伸缩杆底部固定连接在安装槽底部。

作为本实用新型的一种优选技术方案：所述限制件共有两组，两组所述限制件分别安插在弧形安装腔内且顶端略伸出放置台顶端。

作为本实用新型的一种优选技术方案：所述限制件底端固定连接在液压伸缩杆顶部输出端。

作为本实用新型的一种优选技术方案：两组所述限制件之间在放置台顶端形成安置区，两组所述限制件两侧之间形成校正缺口。

作为本实用新型的一种优选技术方案：所述校正缺口与机械手的宽度相适配，所述校正缺口的中心位置对应安置区的中心位置。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆机械手校正治具，具备以下有益效果：