[实用新型]芯片封装设备的封装夹持装置有效
申请号: | 202223391936.0 | 申请日: | 2022-12-19 |
公开(公告)号: | CN219418993U | 公开(公告)日: | 2023-07-25 |
发明(设计)人: | 孙征 | 申请(专利权)人: | 无锡祺芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/687;H01L21/67 |
代理公司: | 苏州佳捷天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 32516 | 代理人: | 石俊飞 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开的属于芯片封装设备技术领域,具体为芯片封装设备的封装夹持装置,包括支撑台,还包括安装于支撑台顶端用于对芯片进行固定的封装结构;所述封装结构包括:封装固定框,封装固定框内开设有多组不同大小的安装槽,用于放置不同大小的芯片,多组不同大小的安装槽的大小从下往上依次递增;以及传输孔,传输孔开设于安装槽的底端,所述传输孔的底端通过管道连接有真空泵,用于产生吸力将放置于安装槽内的芯片进行固定,本实用新型将根据芯片的大小选择合适的安装槽,打开真空泵抽取安装槽内的气体从而对芯片进行吸附进行固定,通过安装在各个安装槽顶端外侧的环形橡胶圈,提高密闭性。 | ||
搜索关键词: | 芯片 封装 设备 夹持 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造