[实用新型]一种多腔体化学气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种多腔体化学气相沉积设备，其中，包括：箱体、尾气处理系统和活性气体罐，所述箱体内顶部呈间隔固定连接有两隔板，两所述隔板内部均滑动连接有活动板，两所述活动板下端均穿过隔板下端延伸至外部，且与箱体内底部相互贴合，两所述隔板中部均设置有第二螺纹杆，两所述第二螺纹杆下端均延伸至活动板内部，两所述第二螺纹杆外部均螺纹连接有第二螺纹块，两所述第二螺纹块外部均固定连接有固定块，两所述固定块下端均呈间隔固定连接有两连接杆，两所述连接杆下端固定连接有密封板。通过上述结构，利用活动板与密封板进行配合，可以保障隔板的密封性，并且利用旋钮可以随时打开两相连的腔室。