[实用新型]一种多腔体化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种多腔体化学气相沉积设备，其特征在于，包括：箱体(1)、尾气处理系统(18)和活性气体罐(24)，所述箱体(1)内顶部呈间隔固定连接有两隔板，两所述隔板内部均滑动连接有活动板(10)，两所述活动板(10)下端均穿过隔板下端延伸至外部，且与箱体(1)内底部相互贴合，两所述隔板中部均设置有第二螺纹杆(23)，两所述第二螺纹杆(23)下端均延伸至活动板(10)内部，两所述第二螺纹杆(23)外部均螺纹连接有第二螺纹块(37)，两所述第二螺纹块(37)外部均固定连接有固定块(38)，两所述固定块(38)下端均呈间隔固定连接有两连接杆(39)，两所述连接杆(39)下端固定连接有密封板(40)，所述密封板(40)下表面与活动板(10)上端固定连接，且侧壁与隔板的内壁滑动连接；

所述箱体(1)内壁固定连接有若干个混合箱(27)，多个所述混合箱(27)内部均设置有驱动电机(32)，多个所述驱动电机(32)输出端均固定连接有转轴(34)，多个所述转轴(34)外部均固定连接有搅拌杆(33)；

所述箱体(1)内底部固定连接有若干个壳体(5)，多个所述壳体(5)内壁均固定连接有两个固定板(20)，两所述固定板(20)下表面均转动连接有第一螺纹杆(6)，多个所述壳体(5)内底部均设置有双向电机(16)，多个所述双向电机(16)输出端均固定连接有第二锥齿轮(36)，两所述第一螺纹杆(6)外部均固定连接有第一锥齿轮(35)。

2.根据权利要求1所述的一种多腔体化学气相沉积设备，其特征在于，所述活性气体罐(24)下端连通有第二连接管(26)，所述第二连接管(26)侧壁均设置有竖管，且穿过箱体(1)一侧延伸至内壁，且与混合箱(27)相通。

3.根据权利要求1所述的一种多腔体化学气相沉积设备，其特征在于，两所述第一螺纹杆(6)外部均螺纹连接有第一螺纹块(11)，所述第一螺纹块(11)侧壁固定连接有支撑杆(8)，所述支撑杆(8)上端固定连接有支撑架(4)，所述支撑架(4)上端固定连接有置物板(3)。

4.根据权利要求3所述的一种多腔体化学气相沉积设备，其特征在于，所述置物板(3)上四角均固定连接有套筒(29)，多个所述套筒(29)内部均设置有弹簧(30)，多个所述弹簧(30)上端均固定连接有拉杆(31)，多个所述拉杆(31)上端均穿过套筒(29)上端延伸至外部，且固定连接有压板(28)。

5.根据权利要求1所述的一种多腔体化学气相沉积设备，其特征在于，所述箱体(1)内壁固定连接有多个支架(2)，多个所述支架(2)侧壁均设置有热丝(21)，多个所述混合箱(27)下表面呈间隔设置有若干个喷头(22)。

6.根据权利要求1所述的一种多腔体化学气相沉积设备，其特征在于，所述尾气处理系统(18)右侧连通有真空泵(17)，所述真空泵(17)侧壁分别连通有第一连接管(14)和第三连接管，所述第一连接管(14)另一端与箱体(1)内部多个腔室连通，所述第三连接管与箱体(1)连通，且侧壁设置有回水阀(19)，所述第一连接管(14)侧壁设置有若干个阀门(12)。

7.根据权利要求6所述的一种多腔体化学气相沉积设备，其特征在于，所述真空泵(17)侧壁连通有冷却水净化系统(15)，所述冷却水净化系统(15)左侧连通有换热器(13)，所述换热器(13)左侧连通有进水管(9)，所述进水管(9)与箱体(1)连通，且侧壁设置有进水阀(7)。

8.根据权利要求1所述的一种多腔体化学气相沉积设备，其特征在于，所述箱体(1)上端呈间隔设置有两旋钮(25)，两所述旋钮(25)一端分别与两第二螺纹杆(23)上端固定连接。