[实用新型]异构封装基板和模组有效
申请号: | 202223259905.X | 申请日: | 2022-11-30 |
公开(公告)号: | CN218867104U | 公开(公告)日: | 2023-04-14 |
发明(设计)人: | 宣凯;郭嘉帅;龙华 | 申请(专利权)人: | 深圳飞骧科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/367;H01L23/64 |
代理公司: | 深圳君信诚知识产权代理事务所(普通合伙) 44636 | 代理人: | 刘伟 |
地址: | 518052 广东省深圳市南山区南头街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种异构封装基板和模组,异构封装基板包括玻璃衬底、异构层、金属柱、背面金属布线层以及同时贯穿玻璃衬底和异构层的收容洞;异构层包括介电材料层和金属线,金属线在介电材料层内形成金属布线和无源器件;金属布线包括N层,N为正整数且满足,N≥2;无源器件为金属线通过集成无源器件工艺制成;背面金属布线层至少部分覆盖收容洞;背面金属布线层设有通过刻蚀工艺制成的多个金属凸块,以用于与收容于收容洞内的外部芯片的管脚实现电连接;背面金属布线层通过金属柱与金属布线连接,无源器件依次通过金属布线和金属柱后与金属凸块电连接。本实用新型的技术方案的整体厚度小,散热效果好且可靠性高。 | ||
搜索关键词: | 封装 模组 | ||
【主权项】:
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