[实用新型]一种用于提升硅片少子寿命精度的钝化设备

摘要

本实用新型涉及一种用于提升硅片少子寿命精度的钝化设备，包括加热炉和冷却装置，所述的加热炉包括加热炉本体、内腔石英件和加热炉密封盖，所述的加热炉本体的前端下部安装有加热炉密封盖，所述的加热炉本体的内腔内安装有内腔石英件，所述的加热炉本体的前端两侧设置有与外部氮气气源连通的氮气输入管，所述的氮气输入管从内腔石英件两侧伸入到内腔，所述的内腔石英件的底部内安装有呈叠放的硅片装夹件。本实用新型具有操作简便、成本低、效率高等特点。