[实用新型]定向气体扩散器及设备有效
| 申请号: | 202223054556.8 | 申请日: | 2022-11-17 |
| 公开(公告)号: | CN219260185U | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
| 发明(设计)人: | M·阿多里西奥;D·麦克里姆蒙;V·瓦尔克;D·戴恩;B·斯库勒 | 申请(专利权)人: | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 李婷 |
| 地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及一种定向气体扩散器及设备。所述定向气体扩散器,其特征在于所述定向气体扩散器包括:细长壳体,所述壳体包括:入口端;封闭端;长度,其在所述入口端与所述封闭端之间;开口,其在所述壳体的正面上沿着所述长度延伸;及通道,其在所述入口与所述封闭端之间延伸。所述通道是沿着所述长度由以下各项界定:所述开口,其沿着所述正面延伸;细长背面;及细长侧面,其中所述通道具有长度、宽度、深度及沿着所述通道长度的不同横截面面积。 | ||
| 搜索关键词: | 定向 气体 扩散器 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





