[实用新型]定向气体扩散器及设备有效

专利信息
申请号: 202223054556.8 申请日: 2022-11-17
公开(公告)号: CN219260185U 公开(公告)日: 2023-06-27
发明(设计)人: M·阿多里西奥;D·麦克里姆蒙;V·瓦尔克;D·戴恩;B·斯库勒 申请(专利权)人: 恩特格里斯公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;H01L21/67
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 李婷
地址: 美国马*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 实用新型涉及一种定向气体扩散器及设备。所述定向气体扩散器,其特征在于所述定向气体扩散器包括:细长壳体,所述壳体包括:入口端;封闭端;长度,其在所述入口端与所述封闭端之间;开口,其在所述壳体的正面上沿着所述长度延伸;及通道,其在所述入口与所述封闭端之间延伸。所述通道是沿着所述长度由以下各项界定:所述开口,其沿着所述正面延伸;细长背面;及细长侧面,其中所述通道具有长度、宽度、深度及沿着所述通道长度的不同横截面面积。
搜索关键词: 定向 气体 扩散器 设备
【主权项】:
暂无信息
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