[实用新型]定向气体扩散器及设备

权利要求书

1.一种定向气体扩散器，其特征在于所述定向气体扩散器包括：

细长壳体，所述壳体包括：

入口端，

封闭端，

长度，其在所述入口端与所述封闭端之间，

开口，其在所述壳体的正面上沿着所述长度延伸，及

通道，其在所述入口与所述封闭端之间延伸，所述通道是沿着所述长度由以下各项界定：

所述开口，其沿着所述正面延伸，

细长背面，及

细长侧面，其中所述通道具有长度、宽度、深度及沿着所述通道长度的不同横截面面积。

2.根据权利要求1所述的扩散器，其特征在于所述长度大于所述宽度，且所述宽度大于所述通道的最大深度。

3.根据权利要求1所述的扩散器，其特征在于随着所述通道朝向所述封闭端延伸，所述深度沿着所述长度的部分减小。

4.根据权利要求1所述的扩散器，其特征在于所述细长背面是无孔的，且所述两个细长侧面是无孔的。

5.根据权利要求1所述的扩散器，其特征在于所述壳体进一步包括多层复合材料，所述多层复合材料从所述细长背面延伸到所述正面。

6.一种定向气体扩散器，其特征在于所述定向气体扩散器包括：

细长壳体，所述壳体包括：

入口端，其包括入口，

封闭端，

长度，其在所述入口端与所述封闭端之间，

开口，其在所述壳体的正面上沿着所述长度延伸，及

内部通道，其在所述入口与所述封闭端之间延伸，所述通道是沿着所述长度由以下各项界定：

所述开口，其在所述正面上，

细长无孔背面，及

细长无孔侧面。

7.根据权利要求6所述的扩散器，其特征在于所述长度大于所述通道的宽度，且所述宽度大于所述通道的最大深度。

8.根据权利要求6所述的扩散器，其特征在于随着所述通道朝向所述封闭端延伸，所述通道的深度沿着所述长度的部分减小。

9.根据权利要求6所述的扩散器，其特征在于所述壳体进一步包括多层复合材料，所述多层复合材料从所述细长无孔背面延伸到所述正面。

10.一种用于制造、存储、运输，或处置多个半导体晶片的设备，其特征在于所述设备包括腔室，所述腔室包含内部，所述内部经调适以容纳一或多个半导体晶片，所述腔室在所述内部处包括连接到惰性气体源的根据权利要求1或6的所述定向气体扩散器。