[实用新型]一种硅片制造用机械手臂

摘要

本实用新型公开了一种硅片制造用机械手臂，包括底座，所述底座的顶部装配有顶柱，所述顶柱的顶端装配有转架，所述转架的外端装配有板座，所述板座的底部装配有压板，所述压板的底部固定安装有真空吸盘，所述压板的顶部装配有真空发生器，且真空发生器的输出端通过气管与真空吸盘相连通，所述底座的顶部装配有驱动电机，所述转架上开设有套槽，且转架通过套槽固定套装在驱动电机的输出轴上；该硅片制造用机械手臂，通过压板底部各组件的设置，能够通过四组位置相对真空吸盘的设置，能够从硅板的四个角上对其进行高效吸附，不仅能够保证该装置转运时的夹持效果，同时也能够避免现有夹持式转运压力过大进而导致硅板损坏的情况发生。