[实用新型]一种硅片制造用机械手臂

说明书

本实用新型公开了一种硅片制造用机械手臂，包括底座，所述底座的顶部装配有顶柱，所述顶柱的顶端装配有转架，所述转架的外端装配有板座，所述板座的底部装配有压板，所述压板的底部固定安装有真空吸盘，所述压板的顶部装配有真空发生器，且真空发生器的输出端通过气管与真空吸盘相连通，所述底座的顶部装配有驱动电机，所述转架上开设有套槽，且转架通过套槽固定套装在驱动电机的输出轴上；该硅片制造用机械手臂，通过压板底部各组件的设置，能够通过四组位置相对真空吸盘的设置，能够从硅板的四个角上对其进行高效吸附，不仅能够保证该装置转运时的夹持效果，同时也能够避免现有夹持式转运压力过大进而导致硅板损坏的情况发生。

技术领域

本实用新型涉及硅片制造辅助转运技术领域，具体为一种硅片制造用机械手臂。

背景技术

经检索，专利申请号为201922351870.4的申请书中，公开了一种硅片转移机械手，该机械手采用真空发生器和吸盘配合对硅片进行固定，利于产品精确定位。包括竖向的转轴，所述的转轴顶部与第一手臂内端部底面转动连接，第一手臂外端部上表面与第二手臂内端部底面转动连接，第二手臂外端部上表面与第三手臂内端部底面转动连接，所述的第三手臂外端部上表面设有硅片固定机构；机械手两侧分别设有竖向的支杆，所述的支杆底部设有固定座，顶部共同固定设有横杆，所述的横杆上可滑动套设有第一套环，所述的第一套环底面中间位置与竖向前后开口的第二套环顶部固定连接。它操作简单，使用方便，适用于多种场所。

在现有硅片制造过程中，通过是由大块的硅板切割打磨为小块的硅片，而在硅板的转运过程中，需要使用相应机械手辅助转运，现有一般为夹持式机械手，夹持效果有限不仅硅板易脱落同时也易由于压力过大导致硅板损坏的情况发生。

因此，我们提出了一种硅片制造用机械手臂。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅片制造用机械手臂，解决了现有夹持式转运压力过大进而导致硅板损坏和转运效率较低的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种硅片制造用机械手臂，包括底座，所述底座的顶部装配有顶柱，所述顶柱的顶端装配有转架，所述转架的外端装配有板座，所述板座的底部装配有压板，所述压板的底部固定安装有真空吸盘，所述压板的顶部装配有真空发生器，且真空发生器的输出端通过气管与真空吸盘相连通。

优选的，所述底座的顶部装配有驱动电机，所述转架上开设有套槽，且转架通过套槽固定套装在驱动电机的输出轴上。

优选的，所述转架的外侧壁上固定安装有第一驱动缸，所述第一驱动缸的输出轴为第一顶杆，且第一顶杆的外端固定连接有板座。

优选的，所述板座的顶部开设有座槽，所述板座的内侧装配有第二驱动缸，所述第二驱动缸的底部设置有为其输出轴的第二顶杆，且第二顶杆的底端固定连接有压板。

优选的，所述压板为“工”字型板，所述压板四个角的底部均固定安装有真空吸盘，所述压板的顶部装配有两组位置相对且与四组真空吸盘相连通的真空发生器。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种硅片制造用机械手臂。具备以下有益效果：

1、该硅片制造用机械手臂，通过压板底部各组件的设置，能够通过四组位置相对真空吸盘的设置，能够从硅板的四个角上对其进行高效吸附，不仅能够保证该装置转运时的夹持效果，同时也能够避免现有夹持式转运压力过大进而导致硅板损坏的情况发生。

2、该硅片制造用机械手臂，通过底座顶部各组件的设置，能够利用驱动电机对转架外端各组件的位置进行旋动，从而能够达到对硅板的位置进行旋动调节，调节至一定角度后，通过第二驱动缸调节压板的高度，从而能够对硅板进行夹持和放置，同时保证该装置的转运精度和转运效果。