[实用新型]一种硅片制造用机械手臂

权利要求书

1.一种硅片制造用机械手臂，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)的顶部装配有顶柱(2)，所述顶柱(2)的顶端装配有转架(4)，所述转架(4)的外端装配有板座(7)，所述板座(7)的底部装配有压板(10)，所述压板(10)的底部固定安装有真空吸盘(11)，所述压板(10)的顶部装配有真空发生器(13)，且真空发生器(13)的输出端通过气管(14)与真空吸盘(11)相连通。

2.根据权利要求1所述的一种硅片制造用机械手臂，其特征在于：所述底座(1)的顶部装配有驱动电机(3)，所述转架(4)上开设有套槽(12)，且转架(4)通过套槽(12)固定套装在驱动电机(3)的输出轴上。

3.根据权利要求1所述的一种硅片制造用机械手臂，其特征在于：所述转架(4)的外侧壁上固定安装有第一驱动缸(5)，所述第一驱动缸(5)的输出轴为第一顶杆(6)，且第一顶杆(6)的外端固定连接有板座(7)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片制造用机械手臂，其特征在于：所述板座(7)的顶部开设有座槽，所述板座(7)的内侧装配有第二驱动缸(8)，所述第二驱动缸(8)的底部设置有为其输出轴的第二顶杆(9)，且第二顶杆(9)的底端固定连接有压板(10)。

5.根据权利要求1所述的一种硅片制造用机械手臂，其特征在于：所述压板(10)为“工”字型板，所述压板(10)四个角的底部均固定安装有真空吸盘(11)，所述压板(10)的顶部装配有两组位置相对且与四组真空吸盘(11)相连通的真空发生器(13)。