[实用新型]调平结构、机械手及晶圆加工设备

摘要

本实用新型揭示了调平结构、机械手及晶圆加工设备，其中调平结构包括平行的固定板及调平板，固定板和调平板通过一组调平组件连接，调平组件包括固定螺栓、调节螺栓及锁紧螺母，固定螺栓垂直设置在固定板上，调节螺栓的第一头部位于调平板背向所述固定板的一侧，调节螺栓的第一螺杆垂直穿过调平板并与固定螺栓螺纹连接，第一螺杆与所述锁紧螺母连接且两者配合将所述调平板固定。本实用新型使固定螺栓与固定板固定连接，使调节螺栓与固定螺栓螺纹连接，能够有效地增加调节螺栓与固定螺栓的连接长度，增加两者连接稳定性，有效降低调节螺栓晃动的几率，避免了调平板调平后因调节螺栓晃动造成无法保持水平的问题，保证了调平板的水平度。