[实用新型]调平结构、机械手及晶圆加工设备有效

申请号：	202222740749.2	申请日：	2022-10-18
公开（公告）号：	CN218631990U	公开（公告）日：	2023-03-14
发明（设计）人：	周鑫;葛凡;孙志超;于光明;陈丛余	申请（专利权）人：	江苏京创先进电子科技有限公司
主分类号：	H01L21/687	分类号：	H01L21/687;H01L21/67
代理公司：	南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297	代理人：	顾祥安
地址：	215000 江苏省苏州***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	结构机械手加工设备
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【权利要求书】：

1.调平结构，包括平行的固定板及调平板，所述固定板和调平板通过一组调平组件连接，其特征在于：所述调平组件包括固定螺栓、调节螺栓及锁紧螺母，所述固定螺栓垂直设置在所述固定板上，所述调节螺栓的第一头部位于所述调平板背向所述固定板的一侧，所述调节螺栓的第一螺杆垂直穿过所述调平板并与所述固定螺栓螺纹连接，所述第一螺杆与所述锁紧螺母连接且两者配合将所述调平板固定。

2.根据权利要求1所述的调平结构，其特征在于：所述调平板包括中心板及分布在其外周的分叉板。

3.根据权利要求2所述的调平结构，其特征在于：所述调平组件连接在所述中心板处，所述调平组件与中心板的连接点靠近所述中心板的位于两个分叉板之间的弧形侧面。

4.根据权利要求1所述的调平结构，其特征在于：所述固定螺栓的第二头部通过一组螺钉与所述固定板连接。

5.根据权利要求4所述的调平结构，其特征在于：所述固定螺栓包括第二螺杆及第二头部，所述第二头部与所述第二螺杆的两端均保持间距，所述第二螺杆连接在所述固定板的第二连接孔处。

6.根据权利要求1所述的调平结构，其特征在于：所述固定螺栓的第二螺杆具有外螺纹，所述第一螺杆具有与所述第二螺杆上的外螺纹匹配的螺纹孔以及与所述锁紧螺母匹配的外螺纹，所述第一头部具有顶丝连接孔，所述固定螺栓通过连接在所述顶丝连接孔处的顶丝紧固于所述调节螺栓处。

7.根据权利要求1-6任一所述的调平结构，其特征在于：所述调节螺栓上还螺纹连接预紧螺母。

8.机械手，其特征在于：包括如权利要求1-7任一所述的调平结构。

9.根据权利要求8所述的机械手，其特征在于：所述调平板上设置有定心夹爪。

10.晶圆加工设备，其特征在于：包括如权利要求8或9所述的机械手。

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