[实用新型]应用于半导体生产设备使用的防震固定片有效
申请号: | 202222071729.0 | 申请日: | 2022-08-06 |
公开(公告)号: | CN217761867U | 公开(公告)日: | 2022-11-08 |
发明(设计)人: | 杜永辉;邹国祥;赵江民 | 申请(专利权)人: | 合肥玖福半导体技术有限公司 |
主分类号: | F16F15/02 | 分类号: | F16F15/02;F16M5/00 |
代理公司: | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人: | 王俊晓 |
地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了应用于半导体生产设备使用的防震固定片,包括:Z型板;U型卡槽,开设于一个所述的横板表面;安装孔,开设于另一个所述的横板表面;内侧加强筋板及外侧加强筋板;扭簧,安装于所述竖板的放置槽中,所述扭簧的两端连接有调压杆,所述调压杆对外侧加强筋板及内侧加强筋板按压;能够依据Z型板横竖板的连接结构,分别将两个扭簧安装于两块内侧加强筋板及一块外侧加强筋板中,Z型板受到半导体生产设备工作时的压力,扭簧承载了部分转化至加强筋板上的应力,通过设置的缓冲垫,提升了防震固定片对加强筋板应力传递的稳定性,进而提高了该应用于半导体生产设备的防震固定片的抗折强度,防止Z型板折弯。 | ||
搜索关键词: | 应用于 半导体 生产 设备 使用 防震 固定 | ||
【主权项】:
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