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- [发明专利]一种半导体基座涂覆工艺-CN202310649918.8在审
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赵江民
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合肥玖福半导体技术有限公司
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2023-06-02
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2023-09-05
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B05D1/28
- 本发明涉及一种半导体基座涂覆工艺，具体包括以下步骤：步骤一：通过外部的清洁设备和检测设备对半导体基座进行全方位的清理杂质和检测是否合格；步骤二：将若干个检测合格的半导体基座依次倒装在涂覆设备上，进行涂覆操作；步骤三：将涂覆好的半导体从涂覆设备上取下来；涂完有机高温胶后，旋转气缸带动翻转板转动180度，此时翻转板的一端与支撑座接触，同时，位于储料槽内的铁屑将被散热底座上的磁性吸引，使得铁屑嵌设在有机高温胶内的同时还吸附在散热底座的表面，铁屑的一端延伸出有机高温胶，其另一端与散热底座接触，从而增大了散热底座的散热面积，进而提高了散热底座对激光二极管的散热效率。
- 一种半导体基座工艺
- [发明专利]一种半导体底座表面喷漆设备-CN202310655945.6在审
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赵江民
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合肥玖福半导体技术有限公司
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2023-06-02
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2023-08-15
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B05B16/20
- 本发明公开了一种半导体底座表面喷漆设备，涉及半导体技术领域，包括加工箱体，所述加工箱体上设置有夹持件、喷漆件和烘干件，其中：所述夹持件包括承载框和两个夹块，所述承载框开口向上并固定安装在加工箱体的顶部，两个所述夹块相对布置并均水平滑动安装在加工箱体的内部，两个夹块分别位于承载框的两侧，并且两个夹块均贯穿承载框的侧部。本发明设计新颖，操作简单，通过夹持件、喷漆件和烘干件的设置，在进行喷漆加工时，先利用夹持件将底座进行固定，然后利用喷漆件底座表面进行喷漆处理，接着利用烘干件对底座进行烘干处理，使得底座可以尽快被取下；通过三个部件的依次工作，可以对底座进行良好、快速的喷漆处理，提高了加工的效率。
- 一种半导体底座表面喷漆设备
- [发明专利]半导体基座加工用成品测试工装-CN202310652314.9在审
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赵江民
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合肥玖福半导体技术有限公司
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2023-06-01
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2023-08-04
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G01R1/02
- 本发明公开了一种半导体基座加工用成品测试工装，涉及半导体的加工技术领域，包括底座、固定在底座顶部的支撑架和安装在支撑架上的测试触头，所述支撑架的顶部贯穿且滑动连接有推杆，所述推杆的底端固接有安装板，所述测试触头安装在安装板的底部；所述推杆的表面套设有防护罩，且安装板位于防护罩内；所述防护罩内还设置有清扫组件；本发明中，在该装置在不使用时，可以使得防护罩完全罩在定位台的顶部，避免测试触头表面沾满灰尘，影响对待测半导体基座的测试结果；当防护罩下移到定位台顶部后，通过转动清扫刷，实现对待测半导体基座顶部灰尘的清理，避免出现接触不良的现象，影响对其的测试结果。
- 半导体基座工用成品测试工装
- [实用新型]一种高精度掩模对准曝光机的支撑平台-CN202223144147.7有效
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赵江民
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合肥玖福半导体技术有限公司
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2022-11-25
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2023-07-18
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G03F7/20
- 本实用新型公开了一种高精度掩模对准曝光机的支撑平台，包括支撑平台主体，支撑平台主体由铁板焊接围成轮廓，内部焊接有网状结构的螺纹钢，并浇筑有混凝土，支撑平台主体顶部设置有锚定件、支撑件、线槽固定件、吊装件和定位件，且锚定件、支撑件、线槽固定件、吊装件和定位件均至少与一根螺纹钢焊接固定；本实用新型通过十字形，八字形连接的螺纹钢搭配混凝土的结构实现高刚性，支撑平台表面带有环氧树脂保护层，环氧树脂保护层并不会覆盖基座表面用于与掩模对准曝光机对接不锈钢零件，实现耐磨性的同时保证基座的美观和水平度。支撑平台内部设有减重空心，在不改变支撑平台长宽高外形尺寸的情况下减轻了支撑平台的重量。
- 一种高精度对准曝光支撑平台
- [实用新型]一种搭接结构的光刻机支撑平台-CN202223459457.8有效
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赵江民
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合肥玖福半导体技术有限公司
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2022-12-22
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2023-05-05
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G03F7/20
- 本实用新型公开了一种搭接结构的光刻机支撑平台，包括支撑框架，支撑框架为钢结构，由两块钢板加一定数量的短型钢焊接组成，水泥底座是钢筋混凝土结构，水泥底座上表面设有垫片和AB胶，支撑框架放置在垫片上，通过调整垫片厚度来调平以及调整支撑平台总高度，AB胶填塞在支撑框架底部未垫垫片的悬空区域，再通过锁紧螺丝将支撑框架和水泥底座锁在一起。本实用新型提供的支撑平台，能满足CANON光刻机对安装精度的需求，对抗震动的需求以及对支撑刚度的需求，从而使CANON光刻机能够正常运行，同时具有制作工艺简单，重量轻，配管方便等优点。
- 一种结构光刻支撑平台
- [实用新型]一种方便排线的光刻机支撑平台-CN202223456616.9有效
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赵江民
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合肥玖福半导体技术有限公司
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2022-12-23
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2023-05-05
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G03F7/20
- 本实用新型公开了一种方便排线的光刻机支撑平台，包括钢构底座，所述钢构底座由H型钢焊接而成，型钢组成的矩形空档中沿对角线焊接加强梁，外围焊接加强筋；钢构底座上焊接一块水平放置的钢板作为混凝土底部挡板，在底部挡板的四个边缘各焊接一块竖直放置的钢板作为混凝土侧面挡板；在所述五块混凝土挡板形成的盒状空间内横纵排列焊接螺纹钢成网状，在网状螺纹钢上焊接螺纹孔预埋件并浇筑混凝土，浇筑环氧树脂保护层。本实用新型提供的支撑平台，能满足NIKON光刻机对安装精度的需求，对抗震动的需求以及对支撑刚度的需求，从而使NIKON光刻机能够正常运行，同时具有安装便捷，重量轻，配管方便等优点。
- 一种方便排线光刻支撑平台
- [实用新型]一种防微振基座的专用制作平台-CN202222993237.7有效
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赵江民
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合肥玖福半导体技术有限公司
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2022-11-10
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2023-03-24
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B25H1/02
- 本实用新型公开了一种防微振基座的专用制作平台,包括支撑框架和仿形面板，支撑框架的底部垂直设置有多个可调立柱，支撑框架的顶部设置有仿形面板且两者通过螺纹连接进行固定，所述仿形面板的正上方固定有倒扣的半成品基座，且所述半成品基座的顶部设置有压形模具，压形模具与仿形面板之间设置有拉马，利用拉马对半成品基座完成紧固，精加工的带有定制定位槽和限位挡边的仿形面板实现基座预埋件及外轮廓的快速精准定位，并通过螺丝连接组装成支撑平台，将半成品基座倒扣在仿形面板的槽中，在内部加入压形模具实现快速构建减重梯形盒，从而精确且高效的建立出基座的整体结构，确保了基座表面预埋件的位置精度，并且提高了基座的制作效率。
- 一种防微振基座专用制作平台
- [实用新型]应用于无尘室使用的回风盖板-CN202222192034.8有效
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赵江民
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合肥玖福半导体技术有限公司
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2022-08-19
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2023-02-28
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F24F7/003
- 本实用新型公开了应用于无尘室使用的回风盖板，盖板框，所述盖板框两端安装于无尘室的墙板间槽中；固定块，固定安装于所述盖板框的两端部；以及隔板，若干个所述隔板转动安装于所述盖板框中；固定块稳定安装于墙板间槽中，保证了该回风盖板的稳定支撑，进而提供可可靠的回风效果，该回风盖板中隔板关闭时，旋转两侧凸出于固定块的旋转块后，使得双向齿条收缩进入固定块内，同时传送带会带动旋转轴及隔板同步转动，减小其与盖板框的夹角角度直至0度，使得隔板收入于盖板框中，该盖板框在安装抽取时，隔板不会碰撞到墙壁造成损伤，进而方便了使用者对该回风盖板进行整体性的抽放，同时也便捷了检查更换损坏部位的效率。
- 应用于无尘室使用回风盖板
- [实用新型]光刻机防微振基座-CN202222419771.7有效
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赵江民
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合肥玖福半导体技术有限公司
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2022-09-13
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2023-02-03
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F16M11/04
- 本实用新型涉及光刻机防微振基座，包括缓振底座，所述缓振底座的顶部固定安装有固定座，所述固定座的顶部开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有用于存放光刻机的支撑板，所述安装槽的内部对称设置有两个用于固定光刻机的夹持机构；由于光刻机本身的重力影响，使得支撑板向下滑动，此时，L形杆在第二拨杆的作用下发生转动，使得推板朝向光刻机方向移动，配合两个导轨对滑块限位，防止推板发生偏移，通过两个推板对光刻机的外壁夹持，保证光刻机的稳定性，同时由于两个推板可通过光刻机重力来调节相对距离，便于该防微振基座适应不同尺寸的光刻机。
- 光刻机防微振基座
- [实用新型]应用于半导体生产设备基座的压板-CN202222180745.3有效
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赵江民
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合肥玖福半导体技术有限公司
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2022-08-18
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2023-02-03
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H01L21/603
- 本实用新型公开了应用于半导体生产设备基座的压板，包括：基座本体，所述基座本体上表面开设有限位槽，所述限位槽用于放置半导体产品；压板本体，所述的压板本体上固定有盖板，所述盖板与压板本体的同一侧可转动的安装于所述的基座本体上侧；以及加热板，固定安装于所述的基座本体内部，用于加热半导体产品；压板本体排布有逐渐增大长度的弹性件，进而为半导体在加工过程中加热导致边框发生不同程度翘曲，提供一个可适应选择的压板强度，进而防止后续的作业区域接触和碰撞变形，避免产品连接不牢固、产品报废；也可根据不同的加工需求提前调节压板本体位置控制夹持对象的强度，进而提升了生产效率和质量。
- 应用于半导体生产设备基座压板
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