[实用新型]应用于半导体生产设备使用的防震固定片有效
| 申请号： | 202222071729.0 | 申请日： | 2022-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN217761867U | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 杜永辉;邹国祥;赵江民 | 申请（专利权）人： | 合肥玖福半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | F16F15/02 | 分类号： | F16F15/02;F16M5/00 |
| 代理公司： | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人： | 王俊晓 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 应用于 半导体 生产 设备 使用 防震 固定 | ||
1.应用于半导体生产设备使用的防震固定片，其特征在于，包括：
Z型板(6)，包括呈“Z”型连接的两个横板及一个竖板，所述竖板内部开设有放置槽(12)；
U型卡槽(1)，开设于一个所述的横板表面；
安装孔(2)，开设于另一个所述的横板表面；
内侧加强筋板(4)，固定于一侧所述的横板与竖板之间；
外侧加强筋板(3)，固定于另一侧所述的横板与竖板之间；
扭簧(5)，安装于所述竖板的放置槽(12)中，所述扭簧(5)的两端连接有调压杆(9)，所述调压杆(9)对外侧加强筋板(3)及内侧加强筋板(4)按压。
2.根据权利要求1所述的应用于半导体生产设备使用的防震固定片,其特征在于，内侧加强筋板(4)设有两块并对称固定于所述Z型板(6)的外侧，外侧加强筋板(3)设有一块并固定于所述Z型板(6)的内侧。
3.根据权利要求1所述的应用于半导体生产设备使用的防震固定片,其特征在于，所述内侧加强筋板(4)一侧开设有安装槽一(7)，所述外侧加强筋板(3)一侧开设有安装槽二(10)，所述安装槽一(7)与安装槽二(10)内均设有与调压杆(9)相适配的缓冲垫(8)。
4.根据权利要求1所述的应用于半导体生产设备使用的防震固定片,其特征在于，所述U型卡槽(1)一侧安装有伸缩杆(11)。
5.根据权利要求1所述的应用于半导体生产设备使用的防震固定片,其特征在于，两个所述横板上开设的U型卡槽(1)与安装孔(2)的位置可对调。
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