[实用新型]光照设备以及半导体处理设备有效
| 申请号： | 202220996240.1 | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN217386137U | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;颜泽斌;赖俊生 | 申请（专利权）人： | 福建省晋华集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市嘉勤知识产权代理有限公司 44651 | 代理人： | 董琳 |
| 地址： | 362200 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请公开一种光照设备以及半导体处理设备，能够减小因灯泡灼烧(Bulb burning)导致的UVLS发出的光源强度衰减，优化光刻效果。本申请中的光照设备包括：光源，用于输出第一功率的光信号，且所述光信号至少能够沿预设光路出射；放大灯罩，所述光信号出射时经过所述放大灯罩，所述放大灯罩表面设置有至少两个预设区域，各个所述预设区域的透光率相同；驱动部，通过传动器件连接到所述放大灯罩，用于驱动所述放大灯罩转动，所述放大灯罩转动过程中，始终以所述预设区域经过所述预设光路。 | ||
| 搜索关键词： | 光照 设备 以及 半导体 处理 | ||
【主权项】：
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