[实用新型]一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置

摘要

本实用新型公开了一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置，包括抽送泵，所述抽送泵的下端安装有连接底座，所述连接底座的下端安装有蓄气罐结构，所述抽送泵的一侧安装有抽气管道和送气管道，所述抽气管道远离抽送泵的一端安装有抽气罩，所述送气管道远离抽送泵的一端安装有放气结构，所述蓄气罐结构包括有蓄气罐体、电控箱和加热电阻管，蓄气罐体安装在连接底座的下端。本实用新型所述的一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置，能够对蓄气罐体内进行升温，使得气相沉积炉内抽出的高温空气在存储时持续保持高温，更利于空气再次排入至气相沉积炉内进行使用，在保持气相沉积炉内部气压的同时，更稳定的进行空气的排出使用。