[实用新型]一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置有效
申请号: | 202220585069.5 | 申请日: | 2022-03-17 |
公开(公告)号: | CN217298005U | 公开(公告)日: | 2022-08-26 |
发明(设计)人: | 杨开平;陈国奇;吴文宝;杜智伟 | 申请(专利权)人: | 四川巴顿博越智能装备有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C14/22 |
代理公司: | 北京市浩东律师事务所 11499 | 代理人: | 孙莉 |
地址: | 610000 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高温 沉积 均匀 保持 装置 | ||
本实用新型公开了一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置,包括抽送泵,所述抽送泵的下端安装有连接底座,所述连接底座的下端安装有蓄气罐结构,所述抽送泵的一侧安装有抽气管道和送气管道,所述抽气管道远离抽送泵的一端安装有抽气罩,所述送气管道远离抽送泵的一端安装有放气结构,所述蓄气罐结构包括有蓄气罐体、电控箱和加热电阻管,蓄气罐体安装在连接底座的下端。本实用新型所述的一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置,能够对蓄气罐体内进行升温,使得气相沉积炉内抽出的高温空气在存储时持续保持高温,更利于空气再次排入至气相沉积炉内进行使用,在保持气相沉积炉内部气压的同时,更稳定的进行空气的排出使用。
技术领域
本实用新型涉及气相沉积炉领域,特别涉及一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置。
背景技术
高温气相沉积炉的气场均匀保持装置一般是高温气相沉积炉进行使用时,安装在高温气相沉积炉上,向高温气相沉积炉抽出和释放空气,来保持高温气相沉积炉内气压稳定,从而实现气相沉积炉内气场均匀的保持装置;
但是现有的高温气相沉积炉的气场均匀保持装置在使用时存在着一定的不足之处有待改善,首先,抽出空气进行存储时,不能够对存储的空气进行保温,不利于空气再次排入至气相沉积炉内进行使用,其次,在释放空气保持气相沉积炉内部气压的同时,无法均匀的排出空气,因此无法稳定的进行空气的排出使用。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置,可以有效解决背景技术提出的技术问题。
为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置,包括抽送泵,所述抽送泵的下端安装有连接底座,所述连接底座的下端安装有蓄气罐结构,所述抽送泵的一侧安装有抽气管道和送气管道,所述抽气管道远离抽送泵的一端安装有抽气罩,所述送气管道远离抽送泵的一端安装有放气结构。
作为本实用新型的进一步方案,所述蓄气罐结构包括有蓄气罐体、电控箱和加热电阻管,蓄气罐体安装在连接底座的下端,电控箱安装在蓄气罐体的一侧,加热电阻管安装在蓄气罐体的内部。
作为本实用新型的进一步方案,所述电控箱贯穿至蓄气罐体的内部,加热电阻管与电控箱固定连接,加热电阻管呈螺旋形排列安装。
作为本实用新型的进一步方案,所述放气结构包括有分流管、安装环、排气管和排气喷头,分流管安装在送气管道的一侧,两个安装环安装在分流管的一侧,多个排气管安装在两个安装环的中间,排气喷头安装在排气管的外侧。
作为本实用新型的进一步方案,所述分流管、安装环和排气管之间贯通连接,多个排气管围绕安装环呈圆形排列安装。
作为本实用新型的进一步方案,所述抽气管道位于送气管道的前方,抽送泵的进气端和送气端分别于抽气管道和送气管道连接,抽送泵通过连接底座与蓄气罐体的内部贯通连接。
与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:通过设置的蓄气罐结构,蓄气罐体内进行空气的存储时,空气进入蓄气罐体内,蓄气罐体的外侧安装了电控箱,电控箱接通电源后对加热电阻管进行供电,使加热电阻管形成电阻升温,从而使加热电阻管对蓄气罐体内进行升温,使得气相沉积炉内抽出的高温空气在存储时持续保持高温,更利于空气再次排入至气相沉积炉内进行使用;
通过设置的放气结构,送气管道排出空气时,空气依次进入分流管、安装环和排气管,多个排气管圆形排列,因此排气管上的排气喷头排出空气时,多个排气喷头均匀的将空气分流排出,在保持气相沉积炉内部气压的同时,更稳定的进行空气的排出使用。
附图说明
图1为本实用新型一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置的整体结构示意图;
图2为本实用新型一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置的后视图;
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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