[实用新型]一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置有效
| 申请号： | 202220585069.5 | 申请日： | 2022-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN217298005U | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 杨开平;陈国奇;吴文宝;杜智伟 | 申请（专利权）人： | 四川巴顿博越智能装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455;C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京市浩东律师事务所 11499 | 代理人： | 孙莉 |
| 地址： | 610000 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高温 沉积 均匀 保持 装置 | ||
1.一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置，其特征在于：包括抽送泵(1)，所述抽送泵(1)的下端安装有连接底座(2)，所述连接底座(2)的下端安装有蓄气罐结构(3)，所述抽送泵(1)的一侧安装有抽气管道(7)和送气管道(9)，所述抽气管道(7)远离抽送泵(1)的一端安装有抽气罩(8)，所述送气管道(9)远离抽送泵(1)的一端安装有放气结构(10)。
2.根据权利要求1所述的一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置，其特征在于：所述蓄气罐结构(3)包括有蓄气罐体(4)、电控箱(5)和加热电阻管(6)，蓄气罐体(4)安装在连接底座(2)的下端，电控箱(5)安装在蓄气罐体(4)的一侧，加热电阻管(6)安装在蓄气罐体(4)的内部。
3.根据权利要求2所述的一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置，其特征在于：所述电控箱(5)贯穿至蓄气罐体(4)的内部，加热电阻管(6)与电控箱(5)固定连接，加热电阻管(6)呈螺旋形排列安装。
4.根据权利要求1所述的一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置，其特征在于：所述放气结构(10)包括有分流管(11)、安装环(12)、排气管(13)和排气喷头(14)，分流管(11)安装在送气管道(9)的一侧，两个安装环(12)安装在分流管(11)的一侧，多个排气管(13)安装在两个安装环(12)的中间，排气喷头(14)安装在排气管(13)的外侧。
5.根据权利要求4所述的一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置，其特征在于：所述分流管(11)、安装环(12)和排气管(13)之间贯通连接，多个排气管(13)围绕安装环(12)呈圆形排列安装。
6.根据权利要求2所述的一种高温气相沉积炉的气场均匀保持装置，其特征在于：所述抽气管道(7)位于送气管道(9)的前方，抽送泵(1)的进气端和送气端分别于抽气管道(7)和送气管道(9)连接，抽送泵(1)通过连接底座(2)与蓄气罐体(4)的内部贯通连接。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
