[实用新型]一种具有多轴转动工件盘的镀膜装置有效
| 申请号： | 202220308268.1 | 申请日： | 2022-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN216947174U | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 刘亮 | 申请（专利权）人： | 布勒莱宝光学设备（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人： | 黄利萍 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有多轴转动工件盘的镀膜装置，包括：真空室、驱动机构和多轴转动机构，所述驱动机构设置在所述真空室的外部，所述多轴转动机构设置在所述真空室的内部，包括第一框架和第二框架，所述第一框架的一端通过第一转动轴与驱动机构连接，另一端分别通过第二转动轴和第三转动轴与所述第二框架转动连接，并且通过第一传动机构与第二框架连接，所述第二框架上设置有M个转筒，所述M个转筒的外表面用于放置工件，分别通过第四转动轴与所述第二框架转动连接，所述第二框架上设置有第二传动机构，所述第二传动机构与所述转筒连接，在驱动机构的驱动下，所述第一框架绕第一转动轴转动。本实用新型能够实现工件盘绕3个轴转动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 转动 工件 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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