[实用新型]一种具有多轴转动工件盘的镀膜装置

说明书

本实用新型公开了一种具有多轴转动工件盘的镀膜装置，包括：真空室、驱动机构和多轴转动机构，所述驱动机构设置在所述真空室的外部，所述多轴转动机构设置在所述真空室的内部，包括第一框架和第二框架，所述第一框架的一端通过第一转动轴与驱动机构连接，另一端分别通过第二转动轴和第三转动轴与所述第二框架转动连接，并且通过第一传动机构与第二框架连接，所述第二框架上设置有M个转筒，所述M个转筒的外表面用于放置工件，分别通过第四转动轴与所述第二框架转动连接，所述第二框架上设置有第二传动机构，所述第二传动机构与所述转筒连接，在驱动机构的驱动下，所述第一框架绕第一转动轴转动。本实用新型能够实现工件盘绕3个轴转动。

技术领域

本申请涉及真空镀膜领域，具体涉及一种具有多轴转动工件盘的镀膜装置。

背景技术

对于基片的镀膜工艺，当前使用的一种镀膜装置如图1所示，包括：驱动电机机构101、工件盘102、真空室103、蒸发源104以及多组滚筒。这种镀膜装置的工件盘只能够沿两轴转动，在镀膜过程中，只能实现滚筒公转跟自转，适用于弧型镜片、薄膜镜片等基片镀膜，但在加工长条形工件时候，尤其是具有内凹槽的长条形工件，现有的两轴转动工件盘由于转动轴比较少，无法保证结构这种复杂工件所有镀膜表面都能镀到的问题，还需要操作人员调整工件位置才能够对工件进行凹槽内部的覆膜，降低了加工效率。

发明内容

针对上述技术问题，本申请采用的技术方案为：

本申请实施例提供一种具有多轴转动工件盘的镀膜装置，包括：真空室、驱动机构和多轴转动机构，所述驱动机构设置在所述真空室的外部，所述多轴转动机构设置在所述真空室的内部，包括第一框架和第二框架，所述第一框架的一端通过第一转动轴与驱动机构连接，另一端分别通过第二转动轴和第三转动轴与所述第二框架转动连接，并且通过第一传动机构与第二框架连接，所述第二框架上设置有M个转筒，所述M个转筒的外表面用于放置工件，分别通过第四转动轴与所述第二框架转动连接，所述第二框架上设置有第二传动机构，所述第二传动机构与所述转筒连接，在驱动机构的驱动下，所述第一框架绕第一转动轴转动，进而通过第一传动机构带动第二框架绕第二转动轴和第三转动轴转动，并通过第二传动机构带动所述转筒绕所述第四转动轴转动。

本申请实施例提供的具有多轴转动工件盘的镀膜装置至少具有以下技术效果：由于在两轴工件盘的基础上，再增加了一个转动轴，使工件在镀膜过程中沿三个轴立体转动，即使结构复杂的工件也能一次完成所有表面镀膜，无需操作人员调整复杂形状工件的位置来加工工件凹面内部，从而提高了工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有的一种镀膜装置的结构示意图；

图2为本实用新型一实施例提供的具有多轴转动工件盘的镀膜装置的结构示意图；

图3为示出图2中的部分结构的示意图；

图4为图3中的A部位的放大图；

图5为图2中的多轴转动机构的示意图；

图6为本申请实施例的工件的结构示意图；

图7为本实用新型另一实施例提供的具有多轴转动工件盘的镀膜装置的结构示意图；

图8为示出图7中的部分结构的示意图；

图9为图8中的B部位的放大图；

图10为图7中的多轴转动机构的示意图；

图11为本实用新型另一实施例提供的多轴转动机构的示意图。

具体实施方式