[实用新型]用于传输晶圆的机械手传动装置和传输装置

摘要

本实用新型公开了一种用于传输晶圆的机械手传动装置，所述传动装置包括：固定轨道；滑动件，所述滑动件连接在所述固定轨道上且可沿所述固定轨道的延伸方向来回滑动；机械手臂，所述机械手臂的一端通过连接固定座和所述滑动件固定相连，所述机械手臂的另一端形成为“匚”字形，且所述另一端的开口端远离所述连接固定座设置，用于支撑放置所述晶圆；齿条和第一齿轮，所述第一齿轮位于所述连接固定座的一侧，在所述连接固定座的朝向所述第一齿轮的一侧设有所述齿条，所述第一齿轮和所述齿条啮合传动以带动所述齿条移动。根据本实用新型的用于传输晶圆的机械手传动装置，通过传送晶圆的机械手和齿轮传动相结合，可以简化结构，运动传输更加稳定可靠。