[发明专利]一种磷化铟单晶及其制备方法在审
| 申请号： | 202211713224.8 | 申请日： | 2022-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN115807266A | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 齐正阳;罗浩;张精伟;陈伟杰;向嘉伟 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B11/00;C30B11/06 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 周全英 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磷化铟单晶及其制备方法，属于半导体材料技术领域。该方法以双坩埚加热装置为基础，有效降低了产品在制备过程中坩埚的损坏概率，降低了制备磷化铟单晶因坩埚内壁损坏而造成的多晶、孪晶等缺陷，同时所得产品的晶棒长度可以显著增加，晶体的品质也有所提升，产品生产效益高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磷化 铟单晶 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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