[发明专利]一种离子传导层钽酸锂薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202211705267.1 | 申请日： | 2022-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN116200703A | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 沈洪雪;汤永康;李刚;姚婷婷;王天齐;金克武 | 申请（专利权）人： | 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35;C23C14/02;C23C14/54;G02F1/1524 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113 | 代理人： | 杨晋弘 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离子传导层钽酸锂薄膜的制备方法，包括以下步骤：ITO镀膜玻璃为衬底置入溅射腔室内，进行抽真空及预加热，通过环形供气通道内环壁均布的气孔，均匀通入氩气至陶瓷钽酸锂靶才表面；开启射频电源，使陶瓷钽酸锂靶材起辉进行预溅射；通入氧气设定工艺参数，对衬底进行钽酸锂薄膜的制备。本发明的有益效果体现在：1）磁控溅射只进行钽酸锂薄膜的镀制，工艺简单，可控性强；2）在制备薄膜的过程中，通过环形供气通道使得制备的薄膜更均匀，性能更稳定，并且更易控制，重复性较高；在制备过程中保证一定的氧气通入量，避免制备的钽酸锂产生大量的氧缺陷，完全满足离子传导层的性能要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 传导 层钽酸锂 薄膜 制备 方法 | ||
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