专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种氧过量铁磁性ZrO2-CN202211705952.4在审
  • 沈洪雪;彭塞奥;李刚;姚婷婷 - 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司
  • 2022-12-29 - 2023-06-13 - C23C14/35
  • 本发明提供了一种氧过量铁磁性ZrO2薄膜的制备方法,将衬底置入磁控溅射设备中,开机抽真空,而后Ar离子轰击金属锆靶材进行预溅射;通入反应气体O2,对衬底进行ZrO2薄膜的溅射制备;将制备的ZrO2薄膜样品转入离子注入室,对ZrO2薄膜进行O离子的注入,最终制备得到Zr:O比失衡且O过量的ZrO2铁磁性薄膜。本发明溅射以金属锆为靶材的ZrO2薄膜的制备,工艺简单,可控操作性强;对所制备ZrO2薄膜进行O离子定量注入,最终达到薄膜中的O过量,使其向铁磁性转变,整个过程不会引入其他杂质。
  • 一种过量铁磁性zrobasesub
  • [发明专利]一种溅射设备用的供气方法-CN202211705953.9在审
  • 沈洪雪;李刚;金克武;姚婷婷;王天齐 - 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司
  • 2022-12-29 - 2023-06-02 - C23C14/34
  • 本发明涉及一种溅射设备镀膜时的一种供气方法,采用一个环状供气通道(2),环状供气通道内环壁(4)上均布一组气孔(5),环状供气通道上端对称设置有两个与外部气瓶连接的供气管(3),环状供气通道侧壁上对称设置有两组吊绳(1),通过吊绳把环状供气通道固定于镀膜腔室中,环状供气通道固定于样品台的正下方或与样品台上的衬底材料处于同一水平位置,使内环壁上均布一组气孔对整个样品台形成全覆盖。按常规反应溅射或掺杂溅射工艺,设定相应气体流量、压力及温度,通过内环壁上均布一组气孔对样品进行均匀定量镀膜。本发明特别是以气体为掺杂源,可实现气体的离子化,提高气体的利用率,同时有效达到目标掺杂。
  • 一种溅射备用供气方法

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