“吕枚倩”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种氮掺杂氧化钇薄膜及其制备方法和应用-CN202310699015.0在审
发明人：冯琳;黄波;吕枚倩;黄泽祎;马晓蕊 -专利权人：中山大学
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明涉及金属氧化物薄膜技术领域，更具体地，涉及一种氮掺杂氧化钇薄膜及其制备方法和应用。本发明的氮掺杂氧化钇薄膜的制备方法，通过采用磁控溅射制备氮掺杂氧化钇薄膜，包括预溅射和薄膜镀制；所述薄膜镀制的反应气体为氮气和氧气的混合气体，且氮气与氧气的流量比为(1～5):0.3，沉积温度≥25℃。该方法以特定比例的N2/O2混合气作为磁控溅射的反应气体，同时结合特定的沉积温度，进而调控氧化钇薄膜的晶体结构、表面形貌及粗糙度，从而在保持氧化钇薄膜红外增透效果的同时，提高其耐磨性和疏水性以增强保护效果。
一种掺杂氧化钇薄膜及其制备方法应用

[发明专利]一种N掺杂Y2-CN202310699029.2在审
发明人：冯琳;黄波;林思远;吕枚倩 -专利权人：中山大学
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及金属氧化物薄膜技术领域，更具体地，涉及一种N掺杂Y2O3薄膜在光学器件中的应用。本发明将氮掺杂氧化钇薄膜应用于光学器件时，不仅能够保持较高的红外透过率和较宽的光学带隙，还具备优异的热稳定性能，可使得光学器件在高温环境中稳定工作，有效拓宽了光学器件的应用范围。
一种掺杂 base sub