[发明专利]发光二极管的外延片及其制作方法有效

专利信息
申请号: 202211581456.2 申请日: 2022-12-10
公开(公告)号: CN115588723B 公开(公告)日: 2023-02-21
发明(设计)人: 陶章峰;薛聪;王庶民;董建荣 申请(专利权)人: 埃特曼(苏州)半导体技术有限公司
主分类号: H01L33/14 分类号: H01L33/14;H01L33/06;H01L33/00
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 赵世发
地址: 215000 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种发光二极管的外延片及其制作方法。所述外延片包括依次层叠的n型半导体层、发光层和p型半导体层,所述p型半导体层包括依次层叠的p型电子阻挡层、p型空穴提供层和p型欧姆接触层,所述p型空穴提供层包括层叠设置的第一子层、第二子层和第三子层;所述第一子层中的Al组分含量沿第一方向逐渐降低,所述第一子层与第二子层的界面处形成第一压电极化场,所述第三子层中的Al组分含量沿第一方向逐渐升高,所述第三子层与第二子层的界面处形成第二压电极化场,所述第一压电极化场与第二压电极化场的大小相同而方向相反。本发明提供一种发光二极管的外延片的空穴浓度高且注入能力强,辐射复合发光效率高。
搜索关键词: 发光二极管 外延 及其 制作方法
【主权项】:
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