[发明专利]硅片翻转装置及硅片镀膜处理系统

摘要

本发明属于半导体制造和太阳能光伏电池制造技术领域，公开了一种硅片翻转装置，该装置包括硅片安置机构,硅片安置机构包括安置框和翻转架，翻转架可翻转地设在安置框内且用于固定硅片；该装置包括翻转机构，翻转机构的输出端与翻转架连接以对翻转架进行翻转；该装置包括限制机构，限制机构连接翻转架以及安置框以对翻转前后的翻转架限位。硅片镀膜处理系统包括上述硅片翻转装置，使安置在翻转架上的硅片经过翻转机构可实现翻转，翻转机构提供翻转动力，限制机构能够在翻转前后对翻转架进行限位，避免其在翻转前后偏位，共同作用即无需将安置框移出加工的工艺腔至转换腔中翻转硅片，减少了转换腔的设置，减少机构的设置，从而减少了成本。