[发明专利]一种表面图形磁性薄膜巨磁阻抗磁传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202211274747.7 | 申请日： | 2022-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN115498100A | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 穆宜敏;王晓荣;朱文俊;张梦怡;张卿 | 申请（专利权）人： | 南京工业大学 |
| 主分类号： | H01L43/02 | 分类号： | H01L43/02;H01L43/08;H01L43/12;G01R33/09 |
| 代理公司： | 南京源古知识产权代理事务所(普通合伙) 32300 | 代理人： | 毕景峰 |
| 地址： | 211816 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种表面图形磁性薄膜巨磁阻抗磁传感器，包括绝缘基底、两个电极和表面图形磁性薄膜；所述表面图形磁性薄膜包括表面光滑磁性薄膜和多个条栅图案磁性薄膜；表面光滑磁性薄膜设置在基底的顶部；多个条栅图案磁性薄膜等间距地排列在表面光滑磁性薄膜的顶部；表面光滑磁性薄膜和单个条栅图案磁性薄膜均为矩形；条栅图案磁性薄膜的长边垂直于表面光滑磁性薄膜的长边；两个电极对称地连接在表面光滑磁性薄膜的两个宽边上。本发明不仅削弱了表面图形磁性薄膜宽度方向的退磁效应，还利用了上层条栅图案磁性薄膜的形状各向异性，可显著增强表面图形磁性薄膜的巨磁阻抗效应，实现高灵敏度的磁场检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 图形 磁性 薄膜 磁阻 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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