[发明专利]前驱体输出系统及前驱体输出方法

摘要

本发明涉及一种前驱体输出系统及前驱体输出方法。前驱体输出系统，包括第一容器、温控装置、进液管路、出气管路、第一检测件、第二检测件及控制器。温控装置用于对第一容器进行加热，进液管路能够向第一容纳腔内输送液相前驱体，出气管路用于输出第一容纳腔内的气相前驱体。控制器用于根据当前蒸汽压确定温控装置的加热温度，控制器还用于根据当前液面高度确定进液管路向第一容纳腔内输送液相前驱体的输送量。控制器根据第一检测件检测到的当前蒸汽压控制温控装置进行温度控制，根据第二检测件检测到的当前液面高度控制进液管路输送液相前驱体，通过调控温度和液面高度，保证了前驱体输出系统的输出稳定性，提升了沉积膜的成膜质量。