[发明专利]前驱体输出系统及前驱体输出方法

说明书

本发明涉及一种前驱体输出系统及前驱体输出方法。前驱体输出系统，包括第一容器、温控装置、进液管路、出气管路、第一检测件、第二检测件及控制器。温控装置用于对第一容器进行加热，进液管路能够向第一容纳腔内输送液相前驱体，出气管路用于输出第一容纳腔内的气相前驱体。控制器用于根据当前蒸汽压确定温控装置的加热温度，控制器还用于根据当前液面高度确定进液管路向第一容纳腔内输送液相前驱体的输送量。控制器根据第一检测件检测到的当前蒸汽压控制温控装置进行温度控制，根据第二检测件检测到的当前液面高度控制进液管路输送液相前驱体，通过调控温度和液面高度，保证了前驱体输出系统的输出稳定性，提升了沉积膜的成膜质量。

技术领域

本发明涉及原子层沉积技术领域，特别是涉及前驱体输出系统及前驱体输出方法。

背景技术

原子层沉积是一种基于有序、表面自饱和反应的化学气相薄膜沉积方法，在镀膜过程中，通常由两种气相前驱体脉冲依次通入反应器并在基底表面发生化学反应。然而，目前的前驱体输出系统在输出气相前驱体的过程中，其输出稳定性较低，直接影响着沉积膜的成膜质量。

发明内容

基于此，提供一种输出稳定的前驱体输出系统，以提高前驱体输出系统的输出稳定性，进而提升沉积膜的成膜质量。

本发明的一方面，提供一种前驱体输出系统，包括：

第一容器，具有用于容纳液相前驱体的第一容纳腔，以及分别连通第一容纳腔的第一开口和第二开口；

温控装置，温控装置耦合于第一容器，用于对第一容器进行加热，以将位于第一容纳腔内的液相前驱体转化为气相前驱体；

进液管路，进液管路的出口与第一开口相连通，以能够向第一容纳腔内输送液相前驱体；

出气管路，出气管路的进口与第二开口相连通，用于输出第一容纳腔内的气相前驱体；

第一检测件，用于检测第一容纳腔内的当前蒸汽压；

第二检测件，用于检测第一容纳腔内的当前液面高度；以及

控制器，分别电性连接温控装置、第一检测件和第二检测件；控制器用于根据当前蒸汽压确定温控装置的加热温度，控制器还用于根据当前液面高度确定进液管路向第一容纳腔内输送液相前驱体的输送量。

在其中一个实施例中，出气管路上设有第一阀；

第一阀与控制器电性连接；

第一阀能够在控制器的控制下开启或关闭，以控制出气管路的导通或截止。

在其中一个实施例中，进液管路上设有第二阀；

第二阀与控制器电性连接；

第二阀能够在控制器的控制下开启或关闭，以控制进液管路的导通或截止。

在其中一个实施例中，位于第一容纳腔内的液相前驱体将第一容纳腔界定为储液区和储气区；

进液管路的出口的一端位于储气区内。

在其中一个实施例中，前驱体输出系统还包括第二容器；

第二容器具有用于容纳液相前驱体的第二容纳腔，以及连通第二容纳腔的第三开口；

进液管路的进口端经由第三开口伸入第二容纳腔内的液相前驱体内。

在其中一个实施例中，前驱体输出系统还包括进气管路；

第二容器具有连通第二容纳腔的第四开口；

进气管路的出口与第四开口相连通，用于向第二容纳腔内输入气体，以能够将液相前驱体自进液管路压入第一容纳腔内。

在其中一个实施例中，前驱体输出系统还包括控压装置；