[发明专利]前驱体输出系统及前驱体输出方法

权利要求书

1.一种前驱体输出系统，其特征在于，包括：

第一容器，具有用于容纳液相前驱体的第一容纳腔，以及分别连通所述第一容纳腔的第一开口和第二开口；

温控装置，所述温控装置耦合于所述第一容器，用于对所述第一容器进行加热，以将位于所述第一容纳腔内的液相前驱体转化为气相前驱体；

进液管路，所述进液管路的出口与所述第一开口相连通，以能够向所述第一容纳腔内输送液相前驱体；

出气管路，所述出气管路的进口与所述第二开口相连通，用于输出所述第一容纳腔内的气相前驱体；

第一检测件，用于检测所述第一容纳腔内的当前蒸汽压；

第二检测件，用于检测所述第一容纳腔内的当前液面高度；以及

控制器，分别电性连接所述温控装置、所述第一检测件和所述第二检测件；所述控制器用于在所述当前蒸汽压下降至预设值时，确定所述温控装置的加热温度以使所述当前蒸汽压升高至目标蒸汽压，所述控制器还用于在所述当前液面高度下降至预设值时，确定所述进液管路向所述第一容纳腔内输送液相前驱体的输送量，以使所述当前液面高度升高至目标液面高度；

其中，所述控制器确定所述温控装置的加热温度，与所述控制器确定所述进液管路向所述第一容纳腔内输送液相前驱体的输送量交替进行。

2.根据权利要求1所述的前驱体输出系统，其特征在于，所述出气管路上设有第一阀；

所述第一阀与所述控制器电性连接；

所述第一阀能够在所述控制器的控制下开启或关闭，以控制所述出气管路的导通或截止。

3.根据权利要求1所述的前驱体输出系统，其特征在于，所述进液管路上设有第二阀；

所述第二阀与所述控制器电性连接；

所述第二阀能够在所述控制器的控制下开启或关闭，以控制所述进液管路的导通或截止。

4.根据权利要求1所述的前驱体输出系统，其特征在于，位于所述第一容纳腔内的液相前驱体将所述第一容纳腔界定为储液区和储气区；

所述进液管路的出口的一端位于所述储气区内。

5.根据权利要求1-4任一项所述的前驱体输出系统，其特征在于，所述前驱体输出系统还包括第二容器；

所述第二容器具有用于容纳液相前驱体的第二容纳腔，以及连通所述第二容纳腔的第三开口；

所述进液管路的进口端经由所述第三开口伸入所述第二容纳腔内的液相前驱体内。

6.根据权利要求5所述的前驱体输出系统，其特征在于，所述前驱体输出系统还包括进气管路；

所述第二容器具有连通所述第二容纳腔的第四开口；

所述进气管路的出口与所述第四开口相连通，用于向所述第二容纳腔内输入气体，以能够将所述液相前驱体自所述进液管路压入所述第一容纳腔内。

7.根据权利要求6所述的前驱体输出系统，其特征在于，所述前驱体输出系统还包括控压装置；

所述控压装置与所述控制器电性连接，所述控制器用于根据所述当前液面高度，控制所述控压装置向所述进气管路输入气体。

8.根据权利要求5所述的前驱体输出系统，其特征在于，所述第一容器与所述第二容器的容积比为1/5-1/3。

9.一种前驱体输出方法，其特征在于，所述方法包括：

调节第一容器的初始温度至目标温度、所述第一容器的第一容纳腔内的初始液面高度至目标液面高度、以及所述第一容纳腔内的初始蒸汽压至目标蒸汽压；

实时监测所述第一容纳腔内的当前蒸汽压，以及所述第一容纳腔内液相前驱体的当前液面高度；

在所述当前蒸汽压满足第一预设条件的情况下，调节所述第一容器的温度以使所述当前蒸汽压达到所述目标蒸汽压；

在所述当前液面高度满足第二预设条件的情况下，调节所述第一容器的温度至所述目标温度，并向所述第一容纳腔内输送液相前驱体至所述目标液面高度。