[发明专利]基于取向标定校正的EBSD样品台及图像获取方法有效
| 申请号： | 202211068477.4 | 申请日： | 2022-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN115128109B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 王宇飞;刘家龙 | 申请（专利权）人： | 北京化工大学 |
| 主分类号： | G01N23/20025 | 分类号： | G01N23/20025;G01N23/203;G01N23/20058;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 北京市恒有知识产权代理事务所(普通合伙) 11576 | 代理人： | 郭文浩;尹文会 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于背散射电子衍射技术领域，具体涉及了一种基于取向标定校正的EBSD样品台及图像获取方法，旨在解决传统的EBSD样品台在观察样品时不进行晶体的取向标定，导致样品宏观取向和内部某晶粒的相对取向偏差过大的问题。本发明包括：设置了标准单晶样品位点，同时对标注单晶样品和待测样品进行观测，并通过标准单晶样品的晶粒取向获取晶体坐标系与样品载体的参考坐标系的欧拉角，进而调整扫描电镜样品台的转角以进行取向标定，使晶粒取向与三维空间中的宏观取向建立联系。本发明本方法在原有EBSD表征技术的基础上引入取向标定校正技术，为后续待测样品晶粒取向与宏观应力加载方向的相对关系分析提供准确数据。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 取向 标定 校正 ebsd 样品 图像 获取 方法 | ||
【主权项】：
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