[发明专利]一种防短路LED芯片及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202211064708.4 申请日: 2022-09-01
公开(公告)号: CN115458638A 公开(公告)日: 2022-12-09
发明(设计)人: 邱小龙;史洁;罗红波;张会雪;陈景文 申请(专利权)人: 湖北深紫科技有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L33/38;H01L33/44
代理公司: 武汉智嘉联合知识产权代理事务所(普通合伙) 42231 代理人: 张杰
地址: 436000 湖北省鄂州市梧桐湖新区凤凰*** 国省代码: 湖北;42
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种防短路LED芯片及其制备方法,该制备方法包括如下步骤:在蓝宝石衬底上依次生长N型半导体层、发光层和P型半导体层;在P型半导体层上依次沉积SiO2薄膜和光刻胶层;采用氢氟酸腐蚀处理SiO2薄膜;基于光刻胶层的图形,采用ICP刻蚀N型半导体层至P型半导体层,刻蚀后去除光刻胶层;采用ICP‑mesa刻蚀发光层和P型半导体层,刻蚀后去除SiO2薄膜;在P型半导体层上依次沉积ITO薄膜、保护层以及金属电极,制得防短路LED芯片。本发明通过先依次沉积SiO2薄膜和光刻胶层,再对SiO2薄膜进行腐蚀,使后续刻蚀过程中能够形成两个台阶结构,避免了现有工艺中LED芯片出现短路的问题;同时,工艺流程简单,有效降低了制备成本。
搜索关键词: 一种 短路 led 芯片 及其 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖北深紫科技有限公司,未经湖北深紫科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202211064708.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top