[发明专利]一种半导体生产加工用测试工装

摘要

本发明公开了一种半导体生产加工用测试工装，涉及半导体技术领域。本发明包括检测箱，检测箱的一端设置有观察板，检测箱底部两侧的两端均设置有横向旋转轴，同一侧的两个横向旋转轴之间通过履带进行连接；检测箱内部的两侧均设置有横向移动柱，横向移动柱的底部设置有检测端口。本发明通过位移机构以及旋转机构的设置，使得圆形旋转盘能够得到三轴以及旋转，便于半导体的检测时的位置，且能够对不同尺寸的半导体进行固定，适用性更好，通过横向旋转轴、第一驱动电机以及调节机构的设置，使得半导体能够移动至检测箱的内部，且使得两个横向移动柱之间的间距能够调节，便于横向移动柱底部的检测端口能够对半导体进行检测。