[发明专利]一种半导体生产加工用测试工装

说明书

本发明公开了一种半导体生产加工用测试工装，涉及半导体技术领域。本发明包括检测箱，检测箱的一端设置有观察板，检测箱底部两侧的两端均设置有横向旋转轴，同一侧的两个横向旋转轴之间通过履带进行连接；检测箱内部的两侧均设置有横向移动柱，横向移动柱的底部设置有检测端口。本发明通过位移机构以及旋转机构的设置，使得圆形旋转盘能够得到三轴以及旋转，便于半导体的检测时的位置，且能够对不同尺寸的半导体进行固定，适用性更好，通过横向旋转轴、第一驱动电机以及调节机构的设置，使得半导体能够移动至检测箱的内部，且使得两个横向移动柱之间的间距能够调节，便于横向移动柱底部的检测端口能够对半导体进行检测。

技术领域

本发明属于半导体技术领域，特别是涉及一种半导体生产加工用测试工装。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。

在半导体生产过程中，最后需要对其进行测试工序，以确保半导体的出厂使用，在测试过程中，其上下料均需要人工操作，才能完成整个操作，操作繁琐，使用专用的工装对半导体产品进行固定，但通常在固定半导体产品时，不能够很好的对不同的半导体进行固定，进而降低了本装置的适用性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体生产加工用测试工装，以解决现有的问题：在测试过程中，其上下料均需要人工操作，才能完成整个操作，操作繁琐，使用专用的工装对半导体产品进行固定，但通常在固定半导体产品时，不能够很好的对不同的半导体进行固定，进而降低了本装置的适用性。

为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：一种半导体生产加工用测试工装，包括检测箱，所述检测箱的一端设置有观察板，所述检测箱底部两侧的两端均设置有横向旋转轴，同一侧的两个所述横向旋转轴之间通过履带进行连接；

所述检测箱内部的两侧均设置有横向移动柱，所述横向移动柱的底部设置有检测端口，所述检测箱的内部还设置有用于两个横向移动柱间隙调节的调节机构；

所述检测箱内部的底部还设置有弧型固定箱，所述弧型固定箱的内部转动连接有圆形旋转盘，所述弧型固定箱的内部设置有用于圆形旋转盘旋转的旋转机构；

所述弧型固定箱的底部设置有用于弧型固定箱三轴移动的位移机构；

所述检测箱内部的顶端设置有观测相机。

进一步地，同一端的两个所述横向旋转轴的外侧均通过轴承转动连接有L型连接板，所述L型连接板与检测箱固定连接；

所述检测箱的一侧螺栓固定有第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出端固定有横向旋转杆，所述横向旋转杆与检测箱内部的两个横向旋转轴固定连接。

进一步地，所述调节机构包括第二驱动电机，所述检测箱的一侧且位于第一驱动电机的顶部还螺栓固定有第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出端固定有第一横向螺纹杆，所述第一横向螺纹杆远离第二驱动电机的一端固定有第二横向螺纹杆，所述第一横向螺纹杆与第二横向螺纹杆的外侧均与横向移动柱螺纹连接。

进一步地，所述第一横向螺纹杆与第二横向螺纹杆的螺纹旋向相反，所述横向移动柱与检测箱为滑动连接。

进一步地，所述位移机构包括第一气压缸，所述第一气压缸的一端固定于检测箱的内部，所述第一气压缸的输出端固定有矩形移动柱，所述矩形移动柱与检测箱为滑动连接，所述矩形移动柱的一侧固定有第二气压缸，所述第二气压缸的输出端固定有弧形固定块，所述弧形固定块的顶部固定有U型架；