[发明专利]半导体器件及其制作方法在审
申请号: | 202210949682.5 | 申请日: | 2022-08-09 |
公开(公告)号: | CN115706147A | 公开(公告)日: | 2023-02-17 |
发明(设计)人: | 纳文·加纳戈纳;张基松 | 申请(专利权)人: | 半导体元件工业有限责任公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/739;H01L29/861;H01L21/329;H01L21/331 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 王琳;姚开丽 |
地址: | 美国亚*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本申请涉及一种半导体器件及其制作方法。一种半导体器件包括背侧触点和衬底。外延场阑区可形成在衬底上,具有随着与衬底的距离增大而减小的渐变掺杂分布,并且外延漂移区可与外延场阑区相邻地形成。前侧器件可形成在外延漂移区上。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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