[发明专利]薄膜晶体管及其制备方法、显示面板在审
| 申请号： | 202210886191.0 | 申请日： | 2022-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN115172329A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 孙博 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/538 | 分类号： | H01L23/538;H01L29/06;H01L29/786;H01L21/768;H01L21/34 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 王胜男 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明的实施例公开了一种薄膜晶体管及其制备方法、显示面板，所述薄膜晶体管包括：基板层；有源层、栅极绝缘层和栅极层，依次层叠设置在所述基板层上；所述有源层具有未被所述栅极层覆盖的偏移区，在所述偏移区的所述有源层包括相连接的沉积区和导体区，所述导体区的电阻至少小于一部分所述沉积区的电阻；层间介质层，设置在所述栅极层上，且覆盖所述有源层的所述沉积区；接触孔，从所述层间介质层远离所述基板层的一面延伸至所述有源层远离所述基板层的表面；所述接触孔暴露所述有源层的所述导体区。在沉积层间介质层后对有源层增加一道二次导体化的制程，将接触孔处导体区的有源层的电阻重新降低，获得更好的电学连接特性。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制备 方法 显示 面板 | ||
【主权项】：
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