[发明专利]一种用于碳化硅晶体生长时提高原料传输效率的装置在审
| 申请号： | 202210859443.0 | 申请日： | 2022-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN115044969A | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 熊希希;杨祥龙;陈秀芳;于国建;胡小波;王垚浩 | 申请（专利权）人： | 广州南砂晶圆半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511458 广东省广州市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种用于碳化硅晶体生长时提高原料传输效率的装置，包括石墨筒和石墨板，其中，石墨筒为中空的筒形结构，用于放置在坩埚的底部；石墨筒的中轴线与坩埚的中轴线重合或近似重合；石墨板用于插置在石墨筒中。利用石墨筒和石墨板，将坩埚的装料区间隔为三个或三个以上的子装料区。通过石墨筒和石墨板的热传导作用，不仅可以减小原料内部径向温度梯度，并且可以阻挡外侧原料向中心传输，从而迫使原料向位于坩埚上部的籽晶处传输，进而可以提高原料传输效率。原料传输效率的提高意味着可以在相同的轴向温度梯度下提高生长速率，从而提高产率，另一方面意味着可以在较小的轴向温度梯下维持相同的生长速率，进而有助于提高碳化硅晶体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 碳化硅 晶体生长 提高 原料 传输 效率 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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