[发明专利]脉冲双向射频源/负载在审
| 申请号： | 202210824403.2 | 申请日： | 2018-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN115172130A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 亚伦·T·瑞多姆斯基;凯·卢;拉里·J·菲斯克二世;R·莱因哈特;马修·G·哈林顿;哈米西·鲁格胡努尼多;杰西·N·克莱因;亚伦·M·贝里 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/3065;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 李娜;康泉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了脉冲双向射频源/负载。射频电源系统包括主RF发生器和辅助RF发生器，其中每个发生器输出相应的RF信号。主RF发生器还将RF控制信号输出到辅助RF发生器，并且由辅助RF发生器输出的RF信号根据RF控制信号而改变。辅助RF发生器接收指示由主RF发生器和辅助RF发生器输出的相应RF信号的电特性的感测信号。辅助RF发生器确定RF信号之间的相位差。所感测的电特性和相位独立地或协作地被使用以控制由辅助RF发生器输出的RF信号的相位和振幅。辅助发生器包括电感箝位电路，其将所反射的能量从耦合网络返回到可变电阻负载。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 双向 射频 负载 | ||
【主权项】：
暂无信息
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