[发明专利]脉冲双向射频源/负载

权利要求书

1.一种RF系统，包括：

第一RF发生器，连接到负载的第一电极，所述第一RF发生器配置成向所述第一电极产生第一RF信号；

第二RF发生器，连接到负载的第二电极，所述第二RF发生器配置成向所述第二电极产生第二RF信号，其中所述第一RF发生器和所述第二RF发生器向所述第一电极和所述第二电极提供相应的RF电压；以及

控制器，配置成控制所述第二RF发生器，所述控制器向所述第一RF发生器和所述第二RF发生器中的至少一个产生控制信号，

其中，所述第一RF发生器和所述第二RF发生器配置成根据从所述第一RF发生器传递到所述第二RF发生器的RF控制信号，以基本上相同的频率操作，

其中，所述第二RF发生器配置成经由第二数字通信端口将请求传递到所述第一RF发生器以请求所述第二RF信号的脉动的调节，并且所述第一RF发生器配置成改变施加到所述第二RF发生器的脉冲控制信号以调节所述第二RF信号的脉动。

2.如权利要求1所述的RF系统，进一步包括DC电源，所述DC电源配置成提供用于驱动所述第二RF发生器的功率放大器的DC轨道电压，其中所述控制器改变所述DC轨道电压，以便控制所述第二电极处的RF电压。

3.如权利要求2所述的RF系统，其中所述控制器配置成确定所述第一RF信号的相位和所述第二RF信号的相位，并控制所述第一RF信号和所述第二RF信号之间的相位差，其中所述控制器配置成根据所述相位差来改变所述第二RF信号的所述相位。

4.如权利要求1所述的RF系统，其中所述第一RF发生器和所述第二RF发生器配置成以连续波操作模式和脉冲操作模式中的一种来操作。

5.如权利要求1所述的RF系统，其中所述调节是所述第二RF信号的振幅和相位中的一个。

6.如权利要求1所述的RF系统，其中所述第二RF发生器配置成经由所述第二数字通信端口将请求传递到所述第一RF发生器以请求所述第二RF信号的脉动的调节，并且所述第一RF发生器改变施加到所述第二RF发生器的脉冲控制信号以调节所述第二RF信号的脉动。

7.如权利要求6所述的RF系统，其中所述调节是脉冲重复率、功率水平和占空比中的一个。

8.如权利要求1所述的RF系统，其中所述第二RF发生器进一步包括：

第一传感器，配置成检测所述第一RF信号的至少一个第一电特性，并根据所述至少一个第一电特性来产生第一传感器输出信号；

功率放大器；以及

DC发生器，配置成将DC电压输出到所述功率放大器，

其中所述控制器配置成接收所述至少一个第一电特性，所述控制器配置成确定所述DC发生器的设定点，并且所述控制器配置成产生根据所述设定点而变化的DC控制信号并将所述DC控制信号传递到所述DC发生器以改变所述DC电压。

9.如权利要求8所述的RF系统，其中所述第二RF发生器进一步包括：

电感箝位电路，布置在所述功率放大器中；以及

可变电阻，配置成与功率放大器通信，所述可变电阻耗散由所述电感箝位电路传递的能量。

10.如权利要求1所述的RF系统，其中所述控制器配置成下述中的至少一种：

根据所述第一RF信号和所述第二RF信号之间的相位差来改变所述第二RF信号的相位，

根据所述第二RF信号的电特性来改变DC轨道电压以便控制所述第二电极处的RF电压，其中DC电源提供用于驱动所述第二RF发生器的功率放大器的所述DC轨道电压，以及

根据第一RF信号和所述第二RF信号之间的所述相位差以及所述第二RF信号的所述电特性两者来改变所述第二RF信号的相位和所述DC轨道电压，以便控制所述第二电极处的所述RF电压，其中DC电源提供用于驱动所述第二RF发生器的所述功率放大器的所述DC轨道电压。