[发明专利]一种耐热溅射靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202210792490.8 | 申请日： | 2022-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN115110043A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 唐智勇;唐安泰 | 申请（专利权）人： | 株洲火炬安泰新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/04;B22F3/15;B22F3/24;B22F3/18;C23C8/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 412000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种耐热溅射靶材的制备方法，具体步骤如下：将坯料进行冷等静压处理；将冷等静压处理的坯料进行热等静压处理；对形成的坯料进行热加工处理；对热处理的坯料进行渗碳处理；将加热之后的坯料进行轧制；将轧制后的坯料进行退火处理；将坯料进行磨削加工，即得到溅射靶材；将磨削之后的溅射靶材进行包装入库，涉及溅射靶材制备技术领域，其中，本发明中在靶材的制备工艺中添加了渗碳处理工艺，而且该渗碳处理工艺分为中温气体碳氮共渗和低温气体碳氮共渗，采用中温气体碳氮共渗提高钢的硬度，耐磨性和疲劳强度；采用低温气体碳氮共渗提高钢的耐磨性和抗咬合性，再经过轧制与退火处理，使工件的表面层具有高硬度和耐高温性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耐热 溅射 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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