[发明专利]一种耐热溅射靶材的制备方法

权利要求书

1.一种耐热溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述高纯铝管溅射靶材的制备方法具体步骤如下：

步骤一、冷等静压

将坯料进行冷等静压处理；

步骤二、热等静压

将步骤二处理后的坯料进行热等静压处理；

步骤三、热处理

将步骤三中形成的坯料进行热加工处理；

步骤四、渗碳处理

对热处理的坯料进行渗碳处理；

步骤五、轧制

将加热之后的坯料进行轧制；

步骤六、退火处理

将轧制后的坯料进行退火处理；

步骤七、机械加工

将步骤六中坯料进行磨削加工，即得到溅射靶材；

步骤八、包装入库

将磨削之后的溅射靶材进行包装入库。

2.如权利要求1所述的一种耐热溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤一中冷等静压处理采用冷等静压机操作。

3.如权利要求1所述的一种耐热溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤二中热等静压处理的加热温度为1000-1300℃，压力为100-150MPa，烧结时间为1-3h。

4.如权利要求1所述的一种耐热溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤三中热处理的加工温度为1200-1600℃，持续时间为5-8h。

5.如权利要求1所述的一种耐热溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤三中热处理的升温速率为5-10℃/min；保温时间为1-2h。

6.如权利要求1所述的一种耐热溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤四中进行渗碳处理时通入氮气。

7.如权利要求1所述的一种耐热溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤四中的渗碳处理分为中温气体碳氮共渗与低温气体碳氮共渗，中温气体碳氮共渗的加热温度为400-500℃；低温气体碳氮共渗的加热温度为200-400℃。

8.如权利要求1所述的一种耐热溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤五中轧制分为热轧与冷轧，具体轧制情况为：

热轧：为三道次的热轧，每一道次的轧制率为20-45％，速率为6-12％/s；三道次热轧后的板材温度为500℃；

冷轧：为三道次的冷轧，每一道次的轧制率为25-50％，速率为6-10％/s；三道次冷轧后的板材温度为100℃。

9.如权利要求1所述的一种耐热溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤六中退火处理后将轧制后的坯料进行再结晶退火处理，退火次数为2-3次，再结晶退火处理温度为800-1100℃，时间为1-3小时。

10.如权利要求1所述的一种耐热溅射靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤七中机械加工后需要对加工工件进行检验，其检验合格的进行包装；不合格的则重新进行加工。