[发明专利]晶圆载具及氮化硅介质膜的制备方法

摘要

本申请涉及一种晶圆载具及氮化硅介质膜的制备方法，使晶圆在晶圆载具上生长氮化硅介质膜，晶圆载具包括：底座，底座内设置有沿第一方向间隔分布的多个容置槽，容置槽用于承载晶圆；以及盖体组件，盖体组件盖合于底座，盖体组件和底座盖合后形成用于容纳晶圆的腔体，腔体内通入硅烷和氮气的混合气体，盖体组件包括至少两个沿第二方向间隔分布的盖体，每个盖体上设置有沿第一方向间隔分布的多个进气槽，相邻两个盖体的进气槽在第一平面上的投影互不交叠，第一方向和第二方向相互垂直。通过设置至少两个盖体，并且相邻盖体的进气槽交错分布，可以加长颗粒的进入通道，避免颗粒随进气槽直接沉积在晶圆上。