[发明专利]一种具有End effect的SCARA机器人手臂在审
| 申请号： | 202210724408.8 | 申请日： | 2022-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN115083986A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 倪萌;周锐;曾潇凯 | 申请（专利权）人： | 上海大族富创得科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/677;B25J15/06 |
| 代理公司： | 上海乐泓专利代理事务所(普通合伙) 31385 | 代理人： | 张雪 |
| 地址： | 201112 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有End effect的SCARA机器人手臂，包括吸盘本体、吸盘座、压缩气管接头、真空气管接头；吸盘座一端固定连接有吸盘本体、吸盘座另一端固定连接有压缩气管接头和真空气管接头；吸盘本体的内部设有压缩流道和真空流道；在吸盘本体上设有多个和压缩流道连通的压缩小孔，在吸盘本体上还设有和真空流道连通的负压小孔；SCARA机器人手臂内部设有压缩气体气管气路，通过压缩气体气管气路和外部设备吹气装置以及负压装置连接；真空压力传感器安装于负压装置和真空气管接头之间的管路上，用于检测所述真空流道内的负压。优点在于：该机器人手臂末端执行机构大大降低了晶圆在搬运中损坏的概率，提高了晶圆搬运的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 end effect scara 机器人 手臂 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
