[发明专利]一种sheet掩膜版的制作方法在审
| 申请号： | 202210586324.2 | 申请日： | 2022-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN115161591A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 刘鑫;李博;赵阳;吴义超;杨凡;李哲 | 申请（专利权）人： | 成都拓维高科光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276 | 代理人： | 谭新民 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种sheet掩膜版的制作方法，包括以下步骤：S1:取厚度为h0的基材,金属基材的A面为上表面，B面为下表面；S2:在基材上涂覆光阻膜，曝光，显影，蚀刻后形成基板，基板包括有效区和将有效区包围在内的辅助区，有效区与辅助区之间设有焊接区，有效区为由横向骨架和纵向骨架形成的镂空的网格状；S3:对S2形成的基板减薄处理。本申请方法制成的掩膜版张网焊接时用较小的拉力可以使sheet整平，使得F‑mask本体不易发生变形，从而提高了蒸镀质量的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sheet 掩膜版 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于成都拓维高科光电科技有限公司，未经成都拓维高科光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210586324.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
