[发明专利]一种低反向导通压降的SiC MOSFET器件在审
申请号: | 202210552207.4 | 申请日: | 2022-05-20 |
公开(公告)号: | CN115377070A | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 易波;李欢;石文坤;向勇;周嵘;孟繁新;杨占民;李歆玮 | 申请(专利权)人: | 中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂);中国振华电子集团有限公司 |
主分类号: | H01L23/58 | 分类号: | H01L23/58;H01L29/78 |
代理公司: | 贵州派腾知识产权代理有限公司 52114 | 代理人: | 汪劲松 |
地址: | 550018 贵州省*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | 本发明提供的一种低反向导通压降了SiC MOSFET器件,包括其元胞;元胞包括N型耐压层、与N型耐压层的背面接触的N型缓冲、与N型缓冲的背面接触的衬底、与衬底的背面接触的漏极金属层,所述N型耐压层的正面与基区接触;所述元胞的正面还加工有n个深槽将基区分割,所述深槽内的源极金属与源极金属层接触。本发明屏蔽区与连通区连接形成接地的电气接触,从而避免了需要采用终端区接地带来的问题;并且可以调节沟槽数目来调节沟道密度,灵活地调节器件的反向导通压降和比导通电阻。 | ||
搜索关键词: | 一种 向导 通压降 sic mosfet 器件 | ||
【主权项】:
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