[发明专利]高纯碳化硅多晶粉料的制备方法有效

专利信息
申请号: 202210528504.5 申请日: 2022-05-16
公开(公告)号: CN114908420B 公开(公告)日: 2023-08-22
发明(设计)人: 孟凡;吴晶 申请(专利权)人: 哈尔滨晶彩材料科技有限公司
主分类号: C30B28/00 分类号: C30B28/00;C30B29/36
代理公司: 哈尔滨市文洋专利代理事务所(普通合伙) 23210 代理人: 王艳萍
地址: 150000 黑龙江省哈尔滨市松北区高新技*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 高纯碳化硅多晶粉料的制备方法,它涉及一种碳化硅多晶粉料的制备方法,属于多功能无机材料合成领域。本发明是为了解决现有制备碳化硅多晶粉料的制备方法纯度低的技术问题。本方法如下:一、将C源与硅源净化;二、将净化后的硅源与净化后的C源混合均匀在温度为800℃~1400℃、真空度为10‑5Pa~10‑6Pa的条件下,烧结30min~30h,关闭真空系统,将系统压力平衡至10Pa~100000Pa,升高温度至1950℃~2500℃,保持1~6h,即得。本发明原料净化后即储存在惰性气体保护的手套箱中,手套箱中水氧氮指数极低,保证了原料中极低的氮含量。采用高真空预烧结及硅蒸汽法能够有效除去埋藏在Si颗粒或硅块中的氮及其他杂质,提高了Si蒸汽的纯度,进而提高SiC纯度。本发明属于碳化硅多晶粉料的制备领域。
搜索关键词: 高纯 碳化硅 多晶 制备 方法
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