[发明专利]一种铜蚀刻液组合物及其使用方法在审
| 申请号： | 202210526738.6 | 申请日： | 2022-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN114855169A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 邵振;石玉国 | 申请（专利权）人： | 江苏和达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/44 |
| 代理公司： | 上海新泊利知识产权代理事务所(普通合伙) 31435 | 代理人： | 王晶 |
| 地址： | 212212 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种铜蚀刻液组合物及其使用方法。本发明的铜蚀刻液按重量百分比包括10~20%的双氧水尿素，2~10%的无机酸，1~12%的有机酸，1~8%的无机盐，10~30%的调节剂以及余量水。本发明的铜蚀刻液具有较高的铜离子负载能力、较好的储存稳定性以及较长的使用寿命的，其蚀刻铜/钼膜层面板后，表面无金属残留、具有较佳的CD‑loss值、较佳的锥角、以及较小的EDP值，能够实现较好的蚀刻效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 组合 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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